凌嘉科技｜晶圆蚀刻设备废气排放监测 客户名称：凌嘉科技 产业：半导体 应用情境：晶圆蚀刻机（Etching Equipment） 专案背景：制程废气排放监测 在半导体晶圆蚀刻制程中，设备会产生多种制程气体与副产物，其中包含具有腐蚀性的气体，例如四氟化矽（SiF₄）。这些气体需透过排气系统进行有效排放与处理，以确保制程设备运作安全并维持厂务系统稳定。 客户痛点： 在蚀刻制程过程中，排气管路中的气体具有腐蚀性与一定温度变化，若无法稳定掌握排气流速与气流状态，可能影响排气系统运行效率与制程设备的稳定性。因此客户需要能...