凌嘉科技｜晶圆蚀刻设备废气排放监测
凌嘉科技｜晶圆蚀刻设备废气排放监测
客户名称：凌嘉科技
产业：半导体
应用情境：晶圆蚀刻机（Etching Equipment）
专案背景：制程废气排放监测
在半导体晶圆蚀刻制程中，设备会产生多种制程气体与副产物，其中包含具有腐蚀性的气体，例如四氟化矽（SiF₄）。这些气体需透过排气系统进行有效排放与处理，以确保制程设备运作安全并维持厂务系统稳定。
客户痛点：
在蚀刻制程过程中，排气管路中的气体具有腐蚀性与一定温度变化，若无法稳定掌握排气流速与气流状态，可能影响排气系统运行效率与制程设备的稳定性。因此客户需要能够在排气管道中持续量测气流条件的量测设备。导入产品类型：
风速风量传感器导入成果：
透过导入风速风量传感器进行排气流速量测，客户可持续监测蚀刻设备排气管道中的气流状态，并将量测数据整合至厂务监控系统中。藉由稳定的气流量测数据，协助工程人员掌握排气系统运行状况，提升制程设备与排气系统的运作管理能力。
相关产品
感测器种类：Pt20 / Pt300(风速) / Pt1000(温度)
量测范围：0 ... 120 Nm/s
输出：4 ... 20 mA / 0 ... 10 V / RS-485 / Impulse
精度：0 ... 40 m/s：±(1% of mv+0.5 m/s)，40 ... 60 m/s：±(1% of mv+1 m/s)，90 ... 120 m/s：±(1% of mv+1.5 m/s)
防护等级：IP67(测棒) / IP65(本体)
